2025-08-07

Tecnologia ZEPTOOLS Scienza popolare-Introduzione alla tecnologia della litografia a fascio di elettroni (EBL)

La litografia a fascio di elettroni (EBL) è una tecnica litografica a scrittura diretta senza maschera che funziona scrivendo direttamente modelli su nanoscala su una superficie di resistenza sensibile agli elettroni utilizzando un fascio di elettroni focalizzato.