Qual è il principio di funzionamento di una macchina di litografia a fascio di elettroni?

La litografia a fascio di elettroni (EBL) è un dispositivo di fabbricazione micro-nano basato sull'esposizione a fascio di elettroni. Il suo principio fondamentale è disegnare modelli su nanoscala su un resiste (come PMMA, HSQ) utilizzando un fascio di elettroni ad alta energia. Infine, il modello viene trasferito al materiale del substrato attraverso processi come lo sviluppo e il fissaggio.