La litografia senza maschera è un'apparecchiatura litografica avanzata che non richiede una maschera fisica. Utilizza un dispositivo micromirror digitale (DMD) per generare dinamicamente modelli litografici, consentendo un'elaborazione di strutture su micro-scala flessibile ed efficiente. La sua funzione principale sta utilizzando la capacità di modulazione della luce spaziale del DMD per proiettare direttamente modelli progettati dal computer sulla superficie del substrato. Ciò elimina le fasi ingombranti della creazione e dell'allineamento delle maschere nella litografia tradizionale, accorciando significativamente il ciclo di ricerca e sviluppo e riducendo i costi di produzione.
