ZEPTOOLS-Microscopio elettronico a scansione-Stadio di spostamento nano

TZ-H-06 automatico della stazione della sonda di temperatura ambiente

Stazione Nano-Sonda SEM

Obiettivo Piezo NF100LA

ML-92A dello stadio di spostamento Piezo Nano a corsa lunga

Sistema di litografia senza maschera DMD

Sistema di deposizione chimica potenziata al plasma (PECVD) serie Ultraflat