2025-08-07

ZEPTOOLSテクノロジー人気のある科学-電子ビームリソグラフィ (EBL) テクノロジーの紹介

電子ビームリソグラフィー (EBL) は、マスクレスの直接書き込みリソグラフィ技術であり、集束電子ビームを使用してナノスケールパターンを電子感応レジスト表面に直接書き込むことで機能します。