2025-08-06

電子ビームリソグラフィ機の動作原理は何ですか?

電子ビームリソグラフィ (EBL) は、電子ビーム露光に基づくマイクロナノ加工デバイスです。その核となる原理は、高エネルギー電子ビームを使用してレジスト (PMMA、HSQなど) にナノスケールパターンを描くことです。最後に、パターンは、現像や固定などのプロセスを通じて基板材料に転写されます。