2025-08-06

マスクレスリソグラフィーとは何ですか? それはどのように機能しますか?

Maskless lithographyは物理的なマスクを必要としない高度なリソグラフィ装置です。デジタルマイクロミラーデバイス (DMD) を使用してリソグラフィパターンを動的に生成し、柔軟で効率的なマイクロスケール構造処理を可能にします。そのコア機能は、DMDの空間光変調機能を利用して、コンピューターで設計されたパターンを基板表面に直接投影することです。これにより、従来のリソグラフィにおけるマスクの作成と位置合わせの面倒なステップが排除され、研究開発サイクルが大幅に短縮され、製造コストが削減されます。