2025-08-06

რა არის პრინციპი ელექტრონული ლიტოგრაფიის მექანია?

ელექტრონული ლიტოგრაფია (EBL) არის მიკრო-ნინო-მრარების მოწყობილობა, რომელიც ელექტრონული ტვირთის გამოსადეგიზე დაფუძნებული. მისი ძირითადი პრინციპი არის ნანოს სქესობრივი ნიშნების გამოყენება (როგორც PMMA, HSQ) თ თჱოჲლჱგა ლვკრჲპჲნ ჱვმთ. საბოლოოდ, ჩვეულებრივ ნივთიერებაში იღებს პროცესებს, როგორიცაა განვითარებული და გასწორება.