2025-08-06

Электронның литография машинасының істеу принципі не?

Электронның літография (EBL) - микро-нано сұрау құрылғысы. Негізгі принципі - резгенде nano- масштаб үлгілерді көрсету (Мәлі, PMMA, HSQ) жоғарғы енерген електрон модемі. Аягында, үлгі құрылғы пен түзеу сұхбаттасын құрылғы пен құру үшін субстрат матеріға ауыстырылды.