Үлгілік литография - физиклық масша керек емес лифография құрал. Ол литографиялык үлгілерді құру үшін цифрлық микроммирора құрылғы (DMD) қолданады, Көрсетілетін және ескілді микро масштаб құрылғысын рұқсат ету. Аның мәтін функциясы DMD- тың жарықты модулациясын бағдарламасын бағдарламасын бағдарламасын бағдарламасын бағдарламасын бағдарламасын бағдарламасын бағдарламасын құру сәйкесті. Бұл қалыпты лифографиясындағы қалпына құру және теңдеттерін өшіріп береді, R&D циклің етіп, өңдеу бағасын