2025-08-06

전자 빔 리소그래피 기계의 작동 원리는 무엇입니까?

EBL (Electron beam lithography) 은 전자 빔 노출을 기반으로 한 마이크로 나노 제조 장치입니다. 핵심 원리는 고 에너지 전자 빔을 사용하여 레지스트 (예: PMMA, HSQ) 에 나노 스케일 패턴을 그리는 것입니다. 마지막으로, 패턴은 현상 및 고정과 같은 공정을 통해 기판 재료로 전달된다.