Маскалык литография - физикалык маска керек эмес. Ал литографиялык шаблондун динамикалык жаратуу үчүн дигиталык микромирор аспап (DMD) колдонулат, Көпчүлүк жана эффективдүү микро масштаб структурасын ишке ашыруу. Анын негизги функциясы DMD кеңейтилген жарыктык модуляциялоо мүмкүнчүлүктөрүн колдонуп, компютерди түзүлгөн шаблондор субстрага суктоо үчүн, мындай дейт: Бул маска түзүү жана традиционалдык литографиядагы текшерүү кыймылдарын жоготат, R&D цикл кыймыл жана производоо баасын азайтуу.