Maskles litografie ass eng avanséierert lithography-Apparment, déi kenne fisische Mask benotzert. Benot et eng digitale micromirror-Apparat (DMD) fir de litografesche Patternen d'dynamich generizen, Flexible a Effekten Strutturk-Statur vum mikro-Squal. Sérdenar Funksion benotzert d' Spatial- Lichmoduulatioun vun der DMD, fir d'Propert- Opteren vun der Substra vun der Protzegt Deep. Dëst lösmt d'Mikmaken a Verluigent an der tradisjonelel litografie, D'R&D-Ziklel a' s äusch d'Produkasten schot.
