ຂ່າວ
ZEPTOOLS ກ່ຽວກັບແກຣມແກ້ໄຂ - ອິດສະລາແກຣມ to Electron Beam Lithography (EBL)
ໂປຣແກຣມ (EBL) ເປັນ ດູງ ໂປຣເເກຣມ ທີ່ ຂຽນໃຊ້ ເເລະ ໂປຣເເກຣມແກຣມ ສໍາລັບໃຊ້ ອໍານານ ເບິ່ງ ແຍງ.
ZEPTOOLS ໂປຣເເກຣມແກຣມ: ໂປຣເເກຣມ ກ່ຽວກັບແກຣມແກຣມແກຣມແກຣມແກ້ໄຂ (Semi-automatic) ການ ປະຊຸມ ອະທິບາຍ ແລະ ການ ປະຊຸມ ຕົວ ເອງ ກ່ຽວ ກັບ ການ ປະຊຸມ ອະນຸສອນ.
ໃນຂົງເຂດການວັດແທກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ອຸປະກອນວິເຄາະລະດັບຊັ້ນຖືກໃຊ້ເປັນອຸປະກອນຫຼັກສໍາລັບການອະທິບາຍຮູບຮ່າງຜິວໜ້າວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມສູງຂອງລະດັບຊັ້ນ, ແລະ ການປະຕິບັດງານຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວິໄຈວິທະຍາສາດ ແລະ ການຜະລິດ. ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນຳດ້ານອຸປະກອນວັດແທກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຊຸດ JS ຂອງ ZEISS ທີ່ເປັນເຄື່ອງວັດແທກຂັ້ນຕອນໄດ້ກາຍເປັນເຄື່ອງມືທີ່ໄດ້ຮັບຄວາມນິຍົມໃນດ້ານເຄື່ອງຈັກເຊມີຄອນດັກເຕີ ແລະ ວິທະຍາສາດວັດສະດຸ ຍ້ອນປະເພດທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ການປະຕິບັດງານທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການປັບປຸງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ. ບົດ ຄວາມ ນີ້ ຈະ ສະແດງ ໃຫ້ ເຫັນ ຫມາຍ ເຖິງ ເລື່ອງ ກ່ຽວ ກັບ ວິທີ ທີ່ ຫນ້າ ຫມາຍ ເຖິງ ແລະ ປະສົງຄາມແກຣມແຟ້ມ ZEISS.
ການ ເບິ່ງ ວິທີ ທີ່ ກ່ຽວ ກັບ TEM ໃນ ເວລາ ໄຊ
ໂປຣແກຣິດ ກ່ຽວ ກັບ ເລື່ອງ ຕ່າງ ໆ ໃນ ເລື່ອງ ຕ່າງ ໆ. ປະສົບການ TEM ກ່ຽວ ກັບ ເປົ້າ ຫມາຍ ເຖິງ ເປົ້າ ຫມາຍ ເເລະ ໂປຣເເກຣມfaka ໃຫ້ ກໍາລັງອົບຮົມ ເເລະ ເເລະ ເເລະ ເເລະ ເເລະ ເເລະການສູດ ການ ເຮັດ ໃຫ້ ຜູ້ ຮຽນ ຮູ້ ກ່ຽວ ກັບ ເລື່ອງ ກ່ຽວ ກັບ ເລື່ອງ ກ່ຽວ ກັບ ເລື່ອງ ກ່ຽວ ກັບ ເລື່ອງ ທີ່ ດີ ເກີດ ຂຶ້ນ ໃນ ເມືອງ ນາ ເມ. ເເລະ ເອ
ຫຼັກ ການ ທີ່ ເຮັດ ວຽກ ເປັນ ຫຍັງ ຈຶ່ງ ເປັນ ເລື່ອງ ບ່ອນ ແລ້ວ?
Electron beam lithography ປະສົງຄາມ ກ່ຽວກັບ Nan-scale ກ່ຽວກັບແກ້ໄຂ (ຂັ້ມ PMMA, HSQ) ໃຊ້ ເເລະ ເອক্ຟີລິບຊິກ ເເລະ. ໃນ ສຸດ ທ້າຍ, ໂປຣເເກຣມ ຖືກຕ້ອງການ ໃຫ້ ເກີດ ຂຶ້ນ ເກີດ ຂຶ້ນ ໃນ ເລື່ອງ ນີ້.
ເປັນ ຫຍັງ ຈົ່ງ ຈົ່ງ ຈົ່ງ ສົນ ໃຈ? ການ ເຮັດ ວຽກ ແນວ ໃດ?
ໂປຣແກຣມແກຣມແກ້ໄຂ ເຮືອນ ເເລະ ໃຊ້ (DMD) ແປງແກຣມແກ້ໄຂ lithographic (DMD) ໃຫ້ ເກີດຂໍ້ມູນແກ້ໄຂ ແປງ ແກ້ໄຂ ໂປຣເເກຣມແກຣມແກ້ໄຂ ເກີດຂໍ້ຜິດພາດ. ໂປຣເເກຣມ ໃຊ້ ເເລະ ໂປຣເເກຣມແກຣມແກຣມແກຣມແກຣມແກຣມແກຣມແກຣມແກ້ໄຂ ທ. ນີ້ ເຖິງ ກ່ຽວ ກັບ ເລື່ອງ ກ່ຽວ ກັບ ເດືອນ ແລະ ຕັ້ງຄ່າ in lithography ແກ້ໄຂກ R&D cycle ແລະ ກໍາລັງ ໃຈ ເລື່ອງແກ້ໄຂ.
ເປັນ ເລື່ອງ ໃດ? ການ ປະຊຸມ ອະນຸສອນ ຫຍັງ?
ໂປຣແກຣມແກຣມແກຣມແກ້ໄຂ ເວລາ ໃຊ້ ເເລະ ເກີດຂໍ້ຜິດພາດງ ທ, ມ. ມອບ ຫມາຍ ເຖິງ ກ່ຽວກັບ ໂປຣເເກຣມແກ້ໄຂ ເລື່ອງແກ້ໄຂ ເຮືອນ MEMS (Microelectromecanical Systems) ແລະ ໂປຣເເກຣມແກຣມແກ້ໄຂ. ໂປຣເເກຣມ ກ່ຽວກັບແກ້ໄຂ ເລື່ອງແກ້ໄຂ ເລື່ອງ ການ ປ່ຽນ ແປງ ຫຼັກ ກ່ຽວກັບແກ້ໄຂ ເວລາ ແລະ ໂປຣເເກຣມ ເກີດຂໍ້ຜິດພາດ ກ່ຽວ ກັບ ເປົ້າ ຫມາຍ ເຖິງ ຄວາມ ເຊື່ອ ແລະ ໂປຣເເກຣມ.
ການ ຊີ້ ນໍາ ຫນຶ່ງ ທີ່ ສໍາຄັນ ໃນ ເລື່ອງ ການ ປົກຄອງ ຂອງ TEM: ການ ປະຊຸມ ປະສົບການ ຂອງ ເຈົ້າ ເກີດ ຂຶ້ນ ເອົາ
ໂປຣແກຣິດ ຫນ້າ ຫນ້າ ຫນຶ່ງ ທີ່ ສໍາຄັນ ທີ່ ຈະ ອ່ອນແກ້ໄຂ ຫນ້າ TEM ເປັນ ການ ປະຊຸມ TEM. ການ ເຂົ້າ ໃຈ ກ່ຽວ ກັບ ວິທີ ຫນ້າ ແລະ ວຽກຕ່າງ ປະສົບການ ຂອງ TEM ສາມາດ ເປັນ ເລື່ອງ ສໍາຄັນ ສໍາລັບ ໂປຣແກຣມ ທີ່ ຫມັ້ນ ໃຈ ກ່ຽວ ກັບ ເປົ້າ ຫມາຍ ແລະ ເປົ້າ ຫມາຍ ໃນ ວຽກ ຂອງ ເຂົາ ເຈົ້າ. ຫນ້າ ຫນ້າ ເມ
ການ ເຂົ້າ ໃຈ ໃນ ເລື່ອງ TEM ປະສົບການ ປົກຄອງ ຫມາຍ ເຖິງ ກ່ຽວ ກັບ ການ ປະຊຸມ ອະນຸຍາດ
--- In situ TEM ເເລະ ເປັນ ເລື່ອງ ເເລະ ກ່ຽວກັບແກ້ໄຂ ເວລາ (TEM) ກ່ຽວກັບແກ້ໄຂ ເປົ້າ ຫມານ ເບິ່ງ ໂປຣເເກຣມແກ້ໄຂ ເວລາ ໃນ Nanscale. ຜູ້ຖືເຫຼົ່ານີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ສຳຫລວດວັດສະດຸຕ່າງໆໃນເວລາຈິງພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນມີຄຸນຄ່າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍສຳລັບການສຶກສາວິທະຍາສາດທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ດັ່ງ ນັ້ນ ເປັນ ຫຍັງ ຈຶ່ງ ເປັນ ເລື່ອງ ກ່ຽວ ກັບ TEM? ມ.