2025-08-07

Zeptools technology popular science-įvadas į elektronų pluošto litografija (ebl) technologija

Elektronų pluošto litografija (ebl) yra bemaskuota, tiesioginio rašymo litografinė technika, veikianti tiesiogiai užrašydama nanoskalės modelius ant elektronui jautraus atsparumo paviršiaus, naudojant fokusuotą elektronų pluoštą.