2025-08-06

Koks yra elektronų pluošto litografijos mašinos veikimo principas?

Elektronų pluošto litografija (ebl) yra mikro-nano gamybos įtaisas, pagrįstas elektronų pluošto ekspozicija. Pagrindinis jo principas yra nubrėžti nano masto modelius ant pasipriešinimo (pvz., pmma, hsq), naudojant didelės energijos elektronų pluoštą. Galiausiai modelis perduodamas į substrato medžiagą per tokius procesus kaip plėtra ir tvirtinimas.