Maskuojanti litografija yra pažangioji litografijos įranga, kuriai nereikia fizinės kaukės. Jis naudoja skaitmeninį mikroveidrodžio įrenginį (dmd), kad dinamiškai generuotų litografinius modelius, leidžiančius lanksčiai ir efektyviai apdoroti mikro masto struktūrą. Pagrindinė jos funkcija yra dmd erdvinės šviesos moduliacijos galimybė tiesiogiai projektuoti kompiuterio sukurtus modelius ant substrato paviršiaus. Tai pašalina sudėtingus kaukės sudarymo ir derinimo tradicinėje litografijoje veiksmus, žymiai sutrumpindami tyrimų ir plėtros ciklą ir sumažindami gamybos sąnaudas.
