2025-08-07

Zeptools technology popular science-ievads elektronu staru litogrāfijā (ebl) tehnoloģija

Elektronu staru litogrāfija (ebl) ir bezmaskas, tieša rakstīšanas litogrāfijas tehnika, kas darbojas, tieši rakstot nanoskalas modeļus uz elektronu jutīgu pretestības virsmu, izmantojot fokusētu elektronu staru.