2025-08-06

Kāda ir elektronu staru litogrāfijas mašīnas darbības princips?

Elektronu staru litogrāfija (ebl) ir mikro-nano izgatavošanas ierīce, kas balstīta uz elektronu staru iedarbību. Tā pamatprincips ir izdarīt nano-skalas modeļus uz pretestības (piemēram, pmma, hsq), izmantojot augstas enerģijas elektronu staru. Visbeidzot, modelis tiek pārnests uz substrāta materiālu, izmantojot tādus procesus kā attīstība un stiprināšana.