Maska bez litogrāfijas ir moderna litogrāfijas iekārta, kas neprasa fizisko masku. Tas izmanto digitālo mikrospoguļu ierīci (dmd), lai dinamiski radītu litogrāfijas modeļus, kas ļauj elastīgu un efektīvu mikroskalas struktūras apstrādi. Tā pamatfunkcija ir izmantojot dmd telpiskās gaismas modulācijas spēju, lai tieši projektētu datora veidotus modeļus uz substrāta virsmas. Tas novērš apgrūtinošos masku veidošanas un saskaņošanas soļus tradicionālajā litogrāfijā, ievērojami saīsinot pētniecības un attīstības ciklu un samazinot ražošanas izmaksas.
