Profilometrs ir precīzs instruments, ko izmanto materiāla virsmu mikroskopiskās topogrāfijas (piemēram, solis augstuma, raupjuma, plakanuma un metnes) augstas precizitātes mērīšanai. To plaši izmanto pusvadītāju ražošanā, materiālu zinātnes pētniecībā, mems (mikroelektromehāniskās sistēmas) apstrādē un optisko komponentu testēšanā. Tās pamatfunkcija ir iegūt kvantitatīvus datus par virsmas augstuma izmaiņām, izmantojot minūšu kontaktu starp zondi un parauga virsmu, nodrošinot galvenos datus materiālu veiktspējas analīzei un procesu optimizācijai.
