2025-08-06

Кој е работниот принцип на електронска литографија?

Електронска литографија (ЕБЛ) е микро-нано направа за измислување на електронски зрак. Нејзиниот суштински принцип е да ги црта шаблоните на нано-замен на отпор (како PMMA, HSQ) користејќи високо енергија електронски зрак. На крајот, шемата се префрла во субстратниот материјал преку процеси како што се развојот и поправањето.