2025-08-06

इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी मशीनचा कार्यरत तत्त्व काय आहे?

इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी (ईबीएल) हा इलेक्ट्रॉन बीम एक्सप्रेशनवर आधारित एक माइक्रो-नानो कल्पना साधन आहे. त्याचे मूल तत्त्व म्हणजे नानो-आकाश नमुना (जस्ते PMMA, HSQ) उच्च ऊर्जाचा इलेक्ट्रॉन बीमचा वापर करते. शेवटी, प्रगती आणि सुरुवातीला प्रक्रिया यांसारखे माध्यमांनी नमुना सूक्ष्म सामग्रीत स्थापित केले जाते.