नसलेली लिथोग्राफी हा एक विस्तृत लिथोग्राफी उपकरण आहे ज्यांना शारीरिक मास्कची गरज नाही. डिजिटल माइक्रोमिरर साधन (डीडीएमडी) वापरले जाते, लवकर्षक आणि परिणामकारक माइक्रो-स्केल संरचना प्रोसेसिंग सक्षम करत आहे. डीएमडीच्या स्थानिक प्रकाश मॉड्यूमेशन क्षमताचा वापर करत आहे सतह. यामुळे परंपरागत लिथोग्राफीमध्ये मास्क बनवण्याचे व संरक्षक पावले काढून टाकतात, आर & डी चक्र कमी करणे आणि उत्पादन पैसा कमी करणे महत्त्वाचे आहे.