2025-08-06

Apakah prinsip kerja mesin lithography elektron?

Lithography elektron rasuk (EBL) adalah peranti fabrikasi mikro-nano yang berdasarkan pendedahan elektron rasuk. Prinsip terasnya adalah untuk menarik corak nano-skala pada yang menentang (seperti PMMA, HSQ) menggunakan pancaran elektron bertenaga tinggi. Akhirnya, corak dipindahkan ke bahan substrat melalui proses seperti pembangunan dan penetapan.