2025-08-06

Apakah lithography maskless? Bagaimana ia berfungsi?

Lithography Maskless adalah peralatan lithography maju yang tidak memerlukan topeng fizikal. Ia menggunakan peranti micromirror digital (DMD) untuk menjana corak cetakan litografi secara dinamik, membolehkan pemprosesan struktur mikro-skala yang fleksibel dan cekap. Fungsi terasnya menggunakan keupayaan modulasi cahaya spatial DMD untuk terus memproyeksikan corak yang direka bentuk komputer ke permukaan substrat. Ini menghapuskan langkah-langkah rumit membuat topeng dan penjajaran dalam litografi tradisional, dengan ketara memendekkan kitaran R & D dan mengurangkan kos pengeluaran.