Profilometer yang merupakan instrumen ketepatan yang digunakan untuk pengukuran kepersisan tinggi topografi mikroskopik permukaan bahan (seperti ketinggian langkah, roughness, kedataran dan meledingkan). Ia digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor, penyelidikan sains bahan, pemprosesan MEMS (sistem Microelectromechanical), dan ujian komponen optik. Fungsi terasnya adalah untuk mendapatkan data kuantitatif mengenai perubahan ketinggian permukaan melalui hubungan minit antara probe dan permukaan sampel, menyediakan data utama untuk analisis prestasi bahan dan pengoptimuman proses.