मास्कलेस लिथोग्राफी एक उन्नत लिथोग्राफी उपकरण हो जुन शारीरिक मास्कको आवश्यक पर्दैन। यसले गतिशील रूपमा लिथोग्राफिक बान्की उत्पन्न गर्न डिजिटल माइक्रोमिरर उपकरण (DMD) प्रयोग गर्दछ, लचिलो र कुशल माइक्रो-स्केल संरचना प्रसंस्करण सक्षम गर्दछ। यसको मुख्य प्रकार्यले DMD को स्थानिक प्रकाश मोड्युलनेशन क्षमता प्रयोग गर्दैछ सिधै कम्प्युटर-डिजाइन ढाँचाहरूलाई सबस्ट्रामा परियोजना गर्न। सतह। यसले परम्परागत लिथोग्राफीमा मास्क निर्माण र पign्क्तिबद्धताको कठोर चरणहरू हटाउँछ, आर एन्ड डी चक्रको उल्लेखनीय रूपमा छोटो र उत्पादन लागत कम गर्दछ।
