2025-08-07

ZEPTOOLS-technologie Populaire wetenschap-Inleiding tot Electron Beam Lithography (EBL)-technologie

Elektronenstraallithografie (EBL) is een maskerloze, direct-schrijven lithografische techniek die werkt door patronen op nanoschaal rechtstreeks op een elektronengevoelig resistoppervlak te schrijven met behulp van een gefocusseerde elektronenbundel.