Wat is het werkingsprincipe van een elektronenbundellithografiemachine?

Elektronenstraallithografie (EBL) is een micro-nano-fabricageapparaat op basis van blootstelling aan elektronenbundels. Het kernprincipe is om patronen op nanoschaal te tekenen op een resist (zoals PMMA, HSQ) met behulp van een hoogenergetische elektronenstraal. Ten slotte wordt het patroon overgebracht naar het substraatmateriaal via processen zoals ontwikkeling en fixatie.