2025-08-07

ZEPTOOLS Teknologi populær vitenskap – Introduksjon til elektronstråleknologi (EBL)

Elektronstrålelitografi (EBL) er en masklesløs, litografisk teknikk med direkte skrivning som virker ved å skrive nanoskalamønstre direkte på en elektronfølsom resist overflate ved hjelp av en Fokusert elektronstråle.