Masklesløs litografi er et avansert litografiutstyr som ikke krever fysisk maske. Den bruker en digital mikrospeil-enhet (DMD) for å generere litografiske mønstre dynamisk. muliggjøre fleksibel og effektiv behandling av mikroskalastrukturer. Dens kjernefunksjon utnytter den geografiske lysmoduleringsmuligheten til DMD for å direkte projisere datamaskindesignede mønster på substratet. Overflate. Dette fjerner de tunge trinnene i maskeret og tilpasningen i tradisjonell litografi. å forkorte forsknings- og utviklingssyklusen betydelig og redusere produksjonskostnadene.
