Et profilometer er et presisjonsinstrument som brukes til høy presisjonsmåling av den mikroskopiske topografien i materialoverflatene (f.eks. trinnhøyde) t, grovhet, flathet og warp. Det brukes i stor utstrekning i halvledere, materialvitenskapsforskning, MEMS-behandling (mikroelectromechanical Systems), og prøving av optiske komponenter. Dens kjernefunksjon er å få kvantitative data om endringer i overflatehøyde gjennom minutt kontakt mellom sonden og prøveoverflaten, levering av nøkkeldata til analyse av materialets ytelse og prosessoptimering.
