Electron Beim lithography (EBL) ଟି ଗୋଟିଏ ମେର-nano ଗ୍ରାହକ ଉପକରଣ ଅଛି । ଏହି ମୂଖ୍ୟ ସୂଚକଟି ଟି ଗୋଟିଏ ଡିରେକ୍ଟୋରୀରେ ନୋ-ସଂକେଲ ପୂର୍ବ ନିଷ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ (ସଂଶ PMMA, HSQ) ଗୋଟିଏ ଅଧିବେଶନ ବ୍ଯବହାର କରୁଅଛି । ଅନ୍ଯାନ୍ଯ, ନକଲକୁ ସୂଚନା ଉପସ୍ଥାପନ ଉପସ୍ଥାପନ କରୁଅଛି।