ਐਲਕਟਰੋਨ ਬੀਮ ਲਿਥੋਗਰਾਫੀ (EBL) ਇੱਕ ਮਾਸਕਲਾਸ ਹੈ, ਸਿੱਧਾ ਲਿਥੋਗਰਾਫਿਕ ਤਕਨੀਕੀ, ਜੋ ਕਿ ਸਿੱਧਾ ਨਾਨੋਸਕੇਲ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਇੱਕ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਐਲਟਰੋਨ- ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਸਫੇਸ ਉੱਤੇ ਲਿਖਣ ਨਾਲ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ ਫੋਕਸ ਕੀਤਾ ਐਲਕਟਰੋਨ ਬੀਮ ।