2025-08-06

ਐਲਕਟਰੋਨ ਬੀਮ ਲਿਥੋਗਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦਾ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਕੀ ਹੈ?

ਐਲਕਟਰੋਨ ਬੀਮ ਲਿਥੋਗਰਾਫੀ (EBL) ਇੱਕ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਨਾਨੋ ਬਣਾਉਣ ਜੰਤਰ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਐਲਕਟਰੋਨ ਬੀਮ ਐਕਸਪੋਰੇਸ਼ਨ ਉੱਤੇ ਅਧਾਰਿਤ ਹੈ। ਇਸ ਦਾ ਕੋਰ ਪਰਿੰਟਲ ਇੱਕ ਰਿਸਟ ਉੱਤੇ ਨਾਨੋ- ਸਕੇਲ ਪੈਟਰਨ ਬਣਾਉਣਾ ਹੈ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ PMMA, HSQ) ਇੱਕ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਐਲਟਰੋਨ ਬੀਮ ਵਰਤੋਂ । ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਸਬ- ਸਟਰੇਟ ਮਾਤਾਲ ਵਿੱਚ ਭੇਜਿਆ ਜਾ ਰਿਹਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਡਿਵੈਲਪਮੈਂਟ ਅਤੇ ਫਿਕਸ