2025-08-07

Technologia ZEPTOOLS Popularna nauka-Wprowadzenie do technologii litografii wiązki elektronowej (EBL)

Litografia wiązki elektronów (EBL) to bezmaskowa, bezpośrednia technika litograficzna, która działa poprzez bezpośrednie zapisywanie wzorów w nanoskali na wrażliwej na elektrony powierzchni oporowej przy użyciu skupionej wiązki elektronów.