2025-08-07

ZEPTOOLS Technology Popular Science-Introdução à Electron Beam Lithography (EBL) Technology

A litografia do feixe de elétron (EBL) é uma técnica litográfica maskless, da direto-gravação que trabalhe diretamente escrevendo testes padrões do nanoscale em uma superfície elétron-sensível resiste usando um feixe de elétron focalizado.