Que é o princípio de funcionamento de uma máquina da litografia do feixe?

A litografia do feixe do elétron (EBL) é um dispositivo micro-nano da fabricação baseado na exposição do feixe de elétron. Seu princípio do núcleo é desenhar testes padrões da nano-escala em um resiste (tal como PMMA, HSQ) usando um feixe de elétron de alta energia. Finalmente, o padrão é transferido para o material do substrato através de processos como desenvolvimento e fixação.