A litografia sem máscara é um equipamento avançado da litografia que não exija uma máscara física. Usa um dispositivo digital do micromirror (DMD) para gerar dinamicamente testes padrões litográficos, permitindo o processamento flexível e eficiente da estrutura da microescala. Sua função principal é utilizar a capacidade de modulação de luz espacial do DMD para projetar diretamente padrões projetados por computador na superfície do substrato. Isto elimina as etapas incômodas da fabricação e do alinhamento da máscara na litografia tradicional, significativamente encurtando o ciclo do R & D e reduzindo custos de produção.
