Um perfilômetro é um instrumento de precisão usado para medição de alta precisão da topografia microscópica de superfícies de material (como altura do degrau, rugosidade, planicidade e urdidura). É amplamente utilizado na fabricação de semicondutores, pesquisa de materiais, processamento MEMS (Sistemas Microeletromecânicos) e testes de componentes ópticos. Sua função principal é obter dados quantitativos sobre as mudanças de altura da superfície através do contato minucioso entre a sonda e a superfície da amostra, fornecendo dados-chave para a análise do desempenho do material e otimização do processo.
