Un profilometru este un instrument de precizie utilizat pentru măsurarea de înaltă precizie a topografiei microscopice a suprafețelor materiale (cum ar fi înălțimea treptei t; rugozitate, plate şi warp. Acesta este utilizat pe scară largă în fabricarea semiconductorilor, cercetarea materialelor științifice, MEMS (Microelectromecanical Systems), și testarea componentelor optice. Funcția sa principală este de a obține date cantitative privind schimbările de înălțime la suprafață prin contact minut între sonda și suprafața eșantionului; furnizarea de date cheie pentru analiza performanței materialelor și optimizarea procesului.
