ZEPTOOLS-Scanning microscop de electroni-Nano

Temperatura camerei Staţie automată Sonda TZ-H-06

Stația SEM Nano-Prob

Piezo Obiectiv NF100LA

Piezo Nano de dislocare lungă etapă ML-92A

Sistem de litografie DMD fără massur

Sistem de depunere chimică a vaporilor ultraflat (PECVD)