2025-08-07

Технология ZEPTOOLS Популярная наука-Введение в технологию электронно-лучевой литографии (EBL)

Электронно-лучевая литография (EBL)-это литографический метод прямой записи без маски, который работает путем прямой записи наноразмерных узоров на электронно-чувствительную поверхность с использованием сфокусированного электронного пучка.