Laskless литография-это передовое литографическое оборудование, которое не требует физической маски. Он использует цифровое микрозеркальное устройство (DMD) для динамического создания литографических узоров, что позволяет гибко и эффективно обрабатывать микромасштабные структуры. Его основная функция-использование возможности пространственной световой модуляции DMD для непосредственного проецирования компьютерных узоров на поверхность подложки. Это устраняет громоздкие этапы изготовления и выравнивания масок в традиционной литографии, значительно сокращая цикл исследований и разработок и снижая производственные затраты.
