2025-08-07

Zeptools technology populárna veda-úvod do elektronového lúča litografie (ebl) technológie

Litografia elektrónového lúča (ebl) je bezmasková, priameho zápisu litografická technika, ktorá funguje tým, že priamo zapisuje nanostupkové vzory na povrch odolávajúci voči elektrónom pomocou sústredeného elektrónového lúča.