Bezmasková litografia je pokročilé litografické zariadenie, ktoré nevyžaduje fyzickú masku. Používa digitálne zariadenie mikrozrkadlo (dmd) na dynamické generovanie litografických vzorov, čo umožňuje flexibilné a efektívne spracovanie štruktúry mikrostupnice. Jeho hlavnou funkciou je využitie priestorovej modulácie svetla dmd priamo premietať počítačovo navrhnuté vzory na povrch substrátu. Tým sa eliminujú ťažkopádne kroky tvorby a zarovnania masky v tradičnej litografii, čím sa výrazne skracuje cyklus výskumu a vývoja a znižuje výrobné náklady.
