2025-08-07

ZEPTOOLS Tehnologija priljubljena znanost - Uvod v tehnologijo elektronskega žareka (EBL)

Litografija elektronskega snopa (EBL) je brez mask, neposredna litografska tehnika, ki deluje z neposredno pisanjem vzorcev nanoobsega na površino občutljivega na elektrone usmerjeni elektronski žarek.