Profilometer je natančni instrument, ki se uporablja za visoko natančno merjenje mikroskopske topografije materialnih površin (kot je višina stopnic) t, groboščina, ploščina in warp. Veliko uporablja se v proizvodnji polprevodnikov, materialne znanstvene raziskave, MEMS (mikroelectromehanical Systems) obdelave, in optično preskušanje sestavnih delov. Njegova glavna funkcija je pridobitev kvantitativnih podatkov o spremembah višine površine skozi minutni stik med sondo in površino vzorca, zagotavljanje ključnih podatkov za analizo učinkovitosti materiala in optimizacijo procesa.
