Cili është parimi pune i një makineri litografi elektronike?

Litografia elektronike (EBL) është një pajisje e krijimit mikro-nano bazuar në ekspozimin e rrarave elektronike. Parimi i saj thelbësor është të vizatojë modelet nano-shkallë në një rezist (si PMMA, HSQ) duke përdorur një tra elektronik me energji të lartë. Më në fund, modeli transferohet në materialin e substratit nëpërmjet proceseve të tilla si zhvillimi dhe rregullimi.